イオン注入装置用消耗部品
AMAT 9500,9500xR, Quantum,xR120,xR80, Varian VIIStaシリーズ, E1000, VIISion,80/120/160/180XP,E220等 Axcelis NVシリーズ, […]
PVD用部品 販売/修理
ピンアンテナ/プリクリーンチャンバー用P/N:0021-54083 ベルジャーP/N:0040-21178 チラー用フィルター P/N:4020-01140D-8901Polypropylene Water Volume […]
CMP用部品 販売/修理
AMAT/中古ミラー/プロファイラーヘッド AMAT/中古ミラー/タイタンヘッド DS2000用チャックローラー （φ32x44L）対象装置:大日本スクリーン製洗浄機AS-2000 材質:PEEK,PBN他 リテーナーリ […]
電源/基盤/ロボット/モーター 修理
Berkley Process Control P/N:100-000-871-02 修理、Exchange AE/advanced-energy電源 全般 AMAT PVD/MDXシリーズ, Pinnacle 20kW […]
（株）天谷製作所/常圧CVD装置
主な用途 半導体デバイス・シリコンウェーハ裏面コート AMAX200 >>>> ～ φ150mm ウェーハ対応。 スループット 57枚/hr AMAX800 >>>> ～ […]
