取り扱い商品
  • AMAT 9500,9500xR, Quantum,xR120,xR80, Varian VIIStaシリーズ, E1000, VIISion,80/120/160/180XP,E220等
  • Axcelis NVシリーズ, GSDシリーズ等
  • Nissin NHシリーズ Exceedシリーズ等
  • Ulvac IDZシリーズ,IM-200,IW-630等
取り扱い製品
  • アークチャンバ(C、W、Mo)
  • フィラメント (W、合金)
  • フロントスリット(C、W、Mo)
  • フィラメントホルダー (C、Mo)
  • インシュレーター(C、セラミック)