Pre Aligner 300mm/アライナー
- Berkley Process Control P/N:100-000-871-02
- 修理、Exchange
電源/Power supply
- AE/advanced-energy電源 全般
- AMAT PVD/MDXシリーズ, Pinnacle 20kW, Pinnacle plus, HFV,他
- AMAT CVD/ RF5S, RF10S, RF20, APEX3K2P, RFG2K2V, AZX63,他
- AMAT ETCH/ APEX 1.5/3K, Navigator 1013,Navigator 3013, 他
- LAM-Novellus CVD/ APEX5513, RFD5500, PDX1400, PDX5000/8000,他
- LAM-Novellus ETCH/ RFG1250, RFDS1250 APEX1513,他
- Axcelis-SEN Implanter/ RFG3000, RFG3001, RFG3002, RF 3kW他
ロボット修理
- PRI -Brooks製ATMシリーズ KLA/ASET-F5X用ATM-107-2-S-CE-S293等
- Kawasaki製3NS～シリーズ
- Yaskawa製XUシリーズ
- Genmark, SEMITOOL, TEL, Canon, NIKON,等々